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利用波长为248nm的氟化氪（KrF）准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷（PZT）、硅（Si）和聚二甲基硅氧烷（PDMS）,研究了准分子激光对这3种材......
Ceramic materials are increasingly used in micro-electro-mechanical systems (MEMS) as they offer many advantages such as......
基于双光子吸收微制造原理和自制双光子微制造系统,对不同激光功率和不同曝光时间下,轴承的微加工成型性进行了研究.在photomer 30......
For the purpose of improving the precision of the inertial guidance system, it is necessary to enhance the accuracy of t......
面向微细加工设计显微视觉系统,同时结合力觉传感器共同控制微细加工的操作过程.针对显微图像中噪声也被放大的特点,在自动聚焦处......
本文对微加工和太赫兹真空电子器件技术进展进行了评论，讨论了微加工和太赫兹真空电子器件可能的应用，也研究了微型器件、微加工的关......
介绍了快速成型技术及其研究方向,在研究微机电系统与微细加工技术的基础上,对比分析了一些基于快速成型技术的微细加工方法的优缺......
通过对双光予微细加工的原理分析，探讨了双光子加工中可能影响最终分辨率的各个因素，在所建立的分辨率理论模型指导下，研究了通过优化......
目的研究硅和玻璃片基上的三维微结构对乳腺癌MCF-7细胞生长的影响。方法采用SU-8光刻胶光刻微加工技术在硅和玻璃片基表面制造沟......
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,......
金刚石因其卓越的物理和化学性能一直蕴涵着巨大的应用潜力，但其极高的硬度和优异的化学稳定性使其难以被加工成型，因此，在作为新型电......
激光微加工中，被加工材质与空气的折射率不同会产生像差，影响加工效果。基于激光微加工机理，运用波前像差函数推导出像差表达式，得到光......
为设计制作高灵敏度、高稳定性的谐振式微加速度计,基于微制作工艺,采用柔性铰链机构和双端固定音叉谐振器设计了微加速度计结构;......
采用微硅-锆钛酸铅（Si-PZT）悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境（小于1000Hz）的微压电能量采集器,一种利用......
基于激光引导直写的堆积成形技术可以操纵微米尺寸的材料微粒进行组装构成微结构。本文介绍了激光引导直写技术的相关原理和研究进......
针对PET塑料耐温性能较差,与标准微纳加工工艺不兼容等问题,开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺。通过CVD生长......
